太原无尘室标准

无尘室污染来源及控制方法
1
室内的空气污染源及其传播途径
室内工作人员

人员发尘是无尘室内空气污染源的较主要来源，尤其人动作时的发尘量相当复杂。
根据工艺性质、人的动作的多少和强弱的不同，这个倍数是不同的，可以分为较低（劳动强度较低或坐着操作，几乎很少起来活动）和较高（劳动强度比一般水平高或活动比较频繁）两类。人体发尘量还与服装的选材、设计与无尘清洗等有很大的关系。
2设备及工艺发尘

设备的产尘以转动设备尤为**，电动机、齿轮转动部件、伺服机械部件、传动部件、液压和气动启动器开关或人工操作的设备，都会由于移动（转动）着的表面之间的摩擦而产生微粒。日本及西方工业国家对无尘室常见的不同运转方式、不同速率、不同材质的机械设备的典型动作和某些电器的产尘进行了相应的实验研究。对无尘室的机械、电器污染源给出了一些尘粒散发量的可参考数值，为无尘室通风设计提供了计算依据。
3与无尘室相邻的污染区域


与无尘室周边相邻或相通的，较低洁净度的区域或非洁净区域，由于人员、材料的进出携带的污染空气，或沉降在人员、物料上的污染物被带入，是影响室内洁净度的另一个重要污染来源。合理的正压差是减少通过围护结构的缝隙和传递窗、门、传送带开口等孔洞侵入污染空气的重要措施。设在门口的气闸室、缓冲室以及空气吹淋室也有一定作用。但完全避免周边污染区域对洁净室环境的干扰与影响也是困难的，特别是无尘室在外门的附近区域。因此，关键工艺区域宜远离外门。
4未经过滤的送风


在正常情况下，新建、改建无尘室或末级过滤器更换后，按规范要求进行了严格的验收检测，则高效过滤器本身、高效过滤器与支撑框架的接触面如有泄漏，都应被查出并予以处理。此时，送风系统不存在未经过滤而进入洁净室的空气。值得防范和注意的是，在生产过程中未按操作规章不慎触及脆弱的高效过滤器纸芯，或是高效过滤器支撑框架因振动、或是密封胶垫老化、变质而致使高效过滤器与框架接触面的密封垫或胶条出现裂隙，从而泄漏未经过滤的空气，污染无尘室，这也是日常监测工作关注的重点。
5原材料、包装等


对进入无尘室的设备、材料以及容器、包装等的预清洁、拆包地点和方法，以及进入无尘室的程序等，都应该按照无尘室运行管理的相关规范执行。但即使严格按照相关规范和程序操作，仍然难以完全杜绝粘附在原材料、容器、包装，特别是一些难以彻底清洁的产品的细小组件上的污染物被带入无尘室。它们构成了生产过程中的又一个重要污染源，而在这一点上往往*被忽略。出现问题时，通常把注意力放在寻找空调净化系统的缺陷上。


2
针对污染源的控制方法
1控制人员散发的污染

人员的鼻腔、口腔、皮肤、头发和身上的服装都散发污染物。控制人员散发的污染，首先是控制进入无尘室的人员数量。与生产、科研无直接关系，未经无尘室管理规范培训的人员，一律不得进入无尘室。进入的人员要遵循无尘室管理规范，整齐穿着无尘服，戴无尘手套、口罩、头罩，穿无尘鞋，经洁净通道进入。对进出无尘室的人员要严格管理。除尽可能降低人员散发的污染物外，空调净化送风的气流也是有效稀释、疏导并排出人员散发的污染物的重要手段。例如人员行走的通道是散发污染物的主要位置，在该处设置回、排风口，使其处于室内下风向，以尽可能减少人员所散发的污染物扩散到无尘室的其它区域。又如关键工序部位设置在无尘室中非操作人员不易到达之处，以减少额外的人员污染。

控制工艺设备及工艺的产尘


无尘室内的工艺设备应选料精良，光洁耐磨，那些转动、滑动部位格外重要，要尽可能地减少磨损及产尘。对于那些产尘的工艺过程要尽可能地将其封闭或设置围挡，并辅以排风，形成局部范围相对于洁净室的负压，以限制污染物向无尘室其他区域扩散。对室内的机器设备定期地进行清洁、擦拭是必要的制度，也是减少积尘二次飞扬的有效措施。

3
维持不同级别相邻无尘室间的压差

防止从相邻的洁净度较低区域向无尘室传播污染的主要方法是：维持高洁净度区域相对于低洁净度区域、低洁净度区域相对于服务区域、服务区域相对于室外有一个合适的正压值。根据不同的情况，不同级别相邻房间的正压值约为10Pa左右。让不同洁净度的各级房间维持梯次的压差，目的是当房间门处于关闭情况时，通过缝隙的气流流向是由高级别无尘室流向低级别无尘室、由低级别无尘室流向走廊和服务区，再流向室外。这样就可减少由室外向服务区域，服务区域向低级别无尘室，低级别无尘室向高级别无尘室传播空气中的悬浮污染物。
4无尘室送风的过滤


无尘室空调送风系统的末端装置——高效空气过滤器或**高效空气过滤器，在正常情况下能有效过滤经空调机组处理的新风和回风中的颗粒污染物。经高效、**高效空气过滤器处理后的洁净空气送入室内，可有效地排替、冲淡室内污染物，以维持室内的洁净度。但末级过滤器如有破损或过滤器与支撑框架间的密封出现裂隙，气密性失效，那么未经高效空气过滤器过滤的空气就可能携带大量污染粒子进入室内并随气流扩散，危害影响范围较大。因此无尘室投入使用前的末级过滤器检漏、堵漏或更换工作十分重要。运行过程中防范末级过滤器受损，也十分重要。高效过滤器到达使用寿命后及时更换也同样应予以关注。
5进入无尘室的材料与部件的清洁


无尘室的产品和原材料、产品的容器和包装材料都要使用不产生污染的材料。这些材料的生产制造环境至少要与使用环境的无尘级别相同或更高，必要时可进行对应级别的无尘清洗。例如，屏蔽袋、tray盘等，宜维持一定的洁净级别，以减少使用环境的污染负荷。进入无尘室的各种零部件应是清洁的，其包装也要符合要求。在无尘室外拆包装时要保证这些零部件不会被污染。不符合无尘室使用要求的零部件要经过清洁后方可进入无尘室。
无尘室是一项综合性技术的反映，在维护和管理控制中，需要进行多方面考虑。无尘室使用前的检测是正常使用的基本保证，使用中的维护和运行管理更是对净化环境的维持。通过技术手段的运用、人员的管理、设备的状况检测、无尘室维护，可以提升无尘室效果。
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进入无尘室的材料、设备等物品管理要求
一、无尘室用材的选择
1.必须仔细选择无尘室的各种用材，确保它们不会对室内造成污染。无尘室内经常使用的材料与设备举例如下：
1)生产中使用的材料：在微电子工业中使用的硅晶片；
2)产品包装材料：如玻璃瓶、塑料瓶、塑料袋、预制的盒子等；
3)工艺设备和机器；
4)对设备和机器进行维修、校准、修理的工具以及转动设备的润滑剂等；
5)人员服装，如洁净工作服、手套、指套、口罩、头罩等；
6)无尘室清洁用品，如抹布与拖把；
7)消耗性用品，如书写纸张、圆珠笔、标签、棉签。
在大多数无尘室中粒子和纤维都是环境污染的主要来源。所以，应避免在生产工艺中使用*破损或散发粒子的材料。其表面带有粒子和纤维的材料也应避免使用。
在半导体工业中，产品表面的化学品和空气环境中的某些气体分子可能形成的化合 物，会沉积在半导体的表面上，它们可能影响产品质量，甚至损坏半导体芯片。
在一些无尘室中，那些无法将静电不断地传导开的材料，可能会因为静电荷的积累和放电使那些对静电敏感产品会受到损坏。此外，静电还会使材料产生静电吸附效应而吸附粒子，造成污染问题。
选择用于无尘室内的生产材料，不仅仅要着眼于适合于生产工艺，而且也应关注是否有可能产生污染。显然对那些既可能构成污染，但又是生产所需的材料和物品，只有在缺之不可的情况下才能使用，或只有在已经充分认识到了这些材料产生污染的问题，并考虑了其他替代材料但又确实都不适合后，才可使用。
二、外部供应的物品及其包装
如果物品的供应商对无尘室要求知之甚少，或根本不予关心，那么它所供应的物品在进人无尘室时可能已受到了严重污染。在某些情况下，这可能是造成污染的一个重要原因。因此，为解决这类问题应采取一些措施。
1.外供物品宜在洁净环境中产生
供应无尘室的物品要求在洁净环境中生产，其洁净度标准宜与产品所供应的无尘室相 同。如果外部供应物品交付时不能达到适当的清洁水准，则必须在无尘室中对其加以清 洁，但这样做的效果可能差些。有越来越多的公司在洁净环境中制造供应无尘室生产所需 的零部件，无尘室管理人员应该向本企业采购部门强调，要关注无尘室物品供应商的生产 环境。应尽量选择**，又是在相应洁净环境中生产的无尘室用品，以保证本企业洁 净室的洁净度和减少清洁外供物品的耗费。
参观考察供应商的生产设施并检查其生产环境是很必要的。外供物品生产厂家可能并 不熟悉无尘室技术。所以，对他们的生产工艺的一些简单建议和改进，就可能产生不错的效果。即使制造厂家不具备洁净生产环境，但只要有较高水平的洁净管理条件，使用无尘室用的手套、抹布、不起毛的服装等，也可大大提高产品的质量。
2.外供物品的包装材料
应注意产品的存储和包装。如果加工的产品从生产设备上取下后立即用合适的洁净包 装方式包装好，则周围较差的生产环境对产品的影响就可以降至较小。
外供物品的包装方法和包装材料必须考虑所供应的无尘室的洁净度等级，包装的尺 度、外形均应符合储藏、运输、开箱过程中防污染的要求，对包装材料的主要要求有以下 几点.
1)包装材料的无污染性：要求包装材料本身不产生粒子、纤维、污染气体及蒸汽等， 不明显地带静电，不与包装品产生化学反应；
2)包装材料必须使用能够清洁到包装物品所要求的洁净度的材料；
3)材料的强度及耐久性：包装材料应承受温湿度、外部作用力和紫外线等影响，能够保证所要求的密封性，避免运输、存放过程中破损而污染，以致将污染带入无尘室中。
无尘室外供用品的良好包装，不仅可以避免产品在运输途中的损坏，也可以较大限度地避免产品受到外部环境的污染。常使用的塑料材料为塑料薄膜或预制的包装塑料。塑料材料与其他许多材料相比，粒子、纤维、化学污染较少。塑料污染的大小取决于所使用的塑料种类、制造方法以及包装 方式。所以，对所用塑料包装是否适宜也要进行检验。有些塑料会产生静电，从而可能损坏产品。如果使用防静电塑料，它对粒子及纤维的 吸附作用也较小，因此也更洁净。如果需要控制分子污染的话，则有些塑料包装材料（如 PVC包装材料），可能就不适用了。
3.外供物品的包装方式
还要考虑的是需要几层包装。如果无尘室用的物品采用的是多层包装，就可以在其运往无尘室的过程中一次打开一层逐步拆装，这就可以保证物品送至无尘室时是较洁净的。对外包装用真空吸尘器吸扫外表面及用潮湿抹布擦拭，有助于保持其清洁，特别是在将产品运往无尘室的开始阶段，尤其如此。随着产品逐步进入无尘室，外包装也变得越来越洁净，相对而言外包装的清洁工作就显得不那么必要了。
包装物品有各种各样的正确方法。不同的物品、不同的用途、材料传递气闸室的不同设计等使得包装方法也有很大区别。所以，无尘室的管理人员必须规定适用的包装材料， 规定所需物品在进入无尘室的过程中对包装进行清洁和打开各层包装的规程。
三、 通过气闸室传递物品和小件设备
任何无尘室都不免要和其他低洁净级别区或非洁净区发生物品传递的情况，减少传递 过程中污染物的侵入是重要的日常管理工作。
通常使用气闸室、缓冲间以避免无尘室外的空气直接进入无尘室内。在气闸室的两个门均关闭时，从外走廊在开门时侵入的污染以及使用气闸室的人所散发出的污染，均被气闸室的送风所稀释。材料传递气闸室的两个门如同人身净化的吹淋室一样，一般都是联锁的。这样就可以 确保一扇门关闭之前另一扇门是不能打开的，可采用电气联锁，也可以是机械联锁。这样就可以防止外部较低洁净级别或非受控区的空气直接进人无尘室。粘垫则放在气闸室人口处，或者气闸室内。粘垫的作用是防止鞋底或推车轮子上粘附的污染转移到无尘室内。气闸室也用来防止材料表面及其包装上的污染物带入无尘室。以下介绍了两种通过气 闸室传递材料的方法。一种是“有台”式材料物品传递气闸室；另一种是“无台”式材 料物品传递气闸室。可根据所传递的材料物品及传递的安全性选用。
1.带传递台的气闸式传递室
“有台”式材料物递气闸室是将供应品安全地传递进无尘室的方法之一。这种方式就 是由传递台将气闸室分成“较脏”与“清洁”两个区，这种方法适用于传递较轻、可以由人力搬动的材料和设备。
使用传递台传递物品的方法如下：
1)清洁传递台：先将非受控区一侧的门打开，搬运材料或设备的人员，从较低洁净 级别或非受控区进入气闸室。气闸室地面铺有粘垫或粘毯，这样，从外面地板向内转移的 污染就可以较少。搬运人员按规定方法对传递台进行清洁，必要时对其进行消毒，进行清 洁工作时要注意，较长的传递台面被分为两个区域，靠无尘室一侧为“清洁”区，靠较低 洁净级别或非受控区一侧为“拆包”区
2)送入传递物品并拆包：完成清洁工作后，搬运人员将带包装的物品送人气闸室。 但不得把纸板箱的包装材料带入气闸室内，因为它们会散发较多粒子，易造成交叉污染。 将带着塑料包装的物品送人气闸室后，将其放置在传递台的“拆包”区一侧，即所谓的 “带包装”侧或“脏”侧。随即对包装进行清洁，然后拆开包装。其具体清洁方法根据使 用物品的无尘室的标准而定，高级别洁?室要求“精洁净”，一般无尘室要求则略低。然 后把物品放置于传递台的另一侧，即所谓的“包装已拆”侧或“洁净”侧。将物品从外 部区域送人气闸室内的人员携带装置外包装的容器，关上通往外部区域的门，离开气 闸室。

3)气闸室充分自净：让气闸室处在无人状态下数分钟的时间，以便将污染降至这样 的浓度：当无尘室一边的门打开时，无尘室不会受到大的影响。为实现这一目的，可安装 内外门的联锁计时装置或指示灯。当无尘室侧门自动打开或指示灯点亮后，无尘室的人员 进人气闸室，拿起物品后离开气闸室，如图10-2所示。

2.无传递台的传递区
如果需要将大的重型设备或机器进出无尘室，则常常使用不带传递台的气闸室。但不带传递台的气闸室作为传递区使用时，其安全度一般低于带传递台的气闸室。
其工作程序 如下：
拆除用纸箱等包装的无尘室用品放在一清净小车上。小车从外部的非受控区推入传递 用气闸室，人员随即离开。来自无尘室的人员进入气闸室并取到供应的材料。如果该材料 较重，不得不将小车推入无尘室。
在将小车推人无尘室以前，必须在气闸室内对其进行清 洁。如果材料不那么重的话，则可将材料转移到从无尘室推过来无尘室**的材料转运小车上。
清洁或拆除材料的包装，或先清洁再拆除包装。然后，将载有材料的洁净小车推入无尘室，无尘室的门随后关闭。如果有物品需要带出，外来的小车可暂时留在气闸室。如果有更多的供应物品需要运入，外来的小车即可离?气闸室。
当把无尘室的小车推人无尘室前，可以考虑使用无尘室粘垫或粘毯清除小车轮子上的 污染物。


四、 无尘室固定设备的进入、安装与维修
对于那些进入无尘室就位后就同定不动或相对同定的大型设备，例如无尘室生产工艺 用的自动机械加工设备、隔离性装置、排风罩等，这类固定设备通常处在无尘室关键工序 的周围，它们一旦被安装到位，再次移动不仅十分困难，并对无尘室的环境条件也影响较 大。
对于这类无尘室的大型设备，首先要求供货商在生产制造时，务必在洁净环境中，而且其包装材料、方法也应符合无尘室的要求。


1.固定设备进入的程序
为了避免发生大型固定设备进入“动态”无尘室，也就是说无尘室已投付正式运行， 还要进入大型固定设备，应该在管理计划中尽可能排出。因为在这种特殊情况下，无尘室 按ISO 14644 -2 “证明持续符合ISO 14644 - 1的测试和监测技术条件”的规定要重新认证无尘室，其工作是相当繁杂的。
正常情况下，通常是在空态或静态条件下将固定设备送入。把设备送入无尘室时，应该关注的问题是：整个过程都不应增加对环境的污染。
解决大型部件运进运出的较好办法就是设计一个大型物流气闸室。它足以将每件设备 运进运出无尘室。如果条件允许，设计无尘室时，宜考虑采纳这个方案。
设备进出无尘室的另一设计方案是在无尘室的墙上开一组双门，大得足以容纳机器、大型设备件的通行。由于这样的通道有可能直接与外走廊相通，因此必须锁住，只有设备需要进入时才打开。有些类型的墙板模块可以取下来再安装好又不对墙造成损坏，这样的话，就不需要另开门洞。

3.通过传递窗传递材料
除了物流气闸室外，还有其他方法可将材料传递入无尘室内供使用。将小型的物件传 进传出无尘室通用的办法就是使用传递窗。传递窗的工作方式与物流气闸室相似，将物品传递入无尘室，大致通过下述的 步骤：
1)在无尘室外面的人员打开传递窗的小门，对传递窗进行清洁；
2)打开物品的一层包装，将物品放入传递窗内；
3)关闭传递窗的小门；
4)在传递窗另一边的人员打开传递窗的内门，取出物品。对取出的物品进行清洁。 在污染控制要求严格的场合，则再打开物品的另一层包装。传递窗一般都带有电子或机械的联锁装置，防止两个小门被同时打开，这样可防止外部空气流入无尘室。有时将传递窗建在与地面水平的位置，便于较重的物品通过传递窗

4)模块化：为洁净实验室-生物安全实验室用户设计方案时，采用工业化、标准化的运作理念，将多年的净化工程项目进行归纳整理，就是将复杂的洁净实验室- 生物安全实验室项目进行模块化，便于恰当的根据用户的不同情况和特点以及需求，进行了更优化的组合。在提供的方案中采用因地制宜的做法，把建筑装修、配 电、空调、消防全都做成标准化的方案，制定具有针对性的方案设计。